Influences of substrate temperature on crystalline characteristics and mechanical properties of SiNx films deposited by microwave electron cyclotron resonance magnetron sputtering

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标题	Influences of substrate temperature on crystalline characteristics and mechanical properties of SiNx films deposited by microwave electron cyclotron resonance magnetron sputtering 相关领域材料科学电子回旋共振溅射沉积基质（水族馆）无定形固体腔磁控管粒度微波食品加热微观结构外延溅射分析化学（期刊）薄膜光电子学复合材料电子纳米技术结晶学化学图层（电子）物理海洋学地质学量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.7498/aps.57.5170
DOI	10.7498/aps.57.5170 doi
其它	期刊：Acta Physica Sinica 作者：Ding Wan-Yu; Jun Xu; Wenqi Lu; Deng Xinlu; Chuang Dong 出版日期：2008-01-01
求助人	早日暴富在 2025-10-29 10:16:44 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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