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 Nanoscale inhomogeneity and photoacid generation dynamics in extreme ultraviolet resist materials 极紫外抗蚀剂材料的纳米级不均匀性和光酸生成动力学
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期刊： 作者：Yuan‐Chung Cheng; Ping-Jui Wu; Yufu Wang; Chien-Wei Wang; Joy Cheng; et al 出版日期：2018-03-13 |
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