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Study of synthesis strategies to improve the electrical properties of magnetron sputtered copper oxide thin films 改善磁控溅射氧化铜薄膜电学性能的合成策略研究
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Arnaud Krumpmann; Rony Snyders 出版日期:2021-12-27 |
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