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标题
Microwave plasma chemical vapour deposition of tetramethylsilane:: correlations between optical emission spectroscopy and film characteristics
微波等离子体化学气相沉积四甲基硅烷:发射光谱与薄膜特性的相关性
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四甲基硅烷 X射线光电子能谱 分析化学(期刊) 傅里叶变换红外光谱 光谱学 沉积(地质) 化学气相沉积 红外光谱学 材料科学 基质(水族馆) 傅里叶变换光谱学 化学 化学工程 纳米技术 有机化学 海洋学 物理 地质学 工程类 古生物学 量子力学 生物 沉积物
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DOI
10.1016/S0257-8972(01)01081-7 doi
求助人
刘佳琦19947 在 2024-03-21 21:35:43 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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    刘佳琦19947 刘佳琦19947 Lv5 求助人 关闭了本次求助。

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