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 Stoichiometry tuning of TaN films through ion treatment: Molecular dynamics study 离子处理TaN薄膜化学计量调整的分子动力学研究
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Methary Jaipal; Rajesh Sathiyanarayanan; Rui Li; Phillip J. Stout 出版日期：2021-09-20 |
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