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  A Micro-Topography Measurement and Compensation Method for the Key Component Surface Based on White-Light Interferometry 基于白光干涉法的关键部件表面微观形貌测量与补偿方法
相关领域
白光干涉法
点云
光学
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光场
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光电子学
复合材料
放大器
CMOS芯片
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期刊：Sensors 作者：Junying Chen; Boxuan Wang; Xiuyu Chen; Qingshan Jiang; Wei Feng; et al 出版日期：2023-10-08 |
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