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Low Voltage, High Performance Thin Film Transistor with HfInZnO Channel and HfO[sub 2] Gate Dielectric
具有HfInZnO沟道和HfO[sub 2]栅介质的低压高性能薄膜晶体管
相关领域
材料科学
薄膜晶体管
光电子学
阈值电压
晶体管
栅极电介质
阈下摆动
溅射
电介质
薄膜
电压
电气工程
纳米技术
图层(电子)
工程类
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其它 |
期刊:Electrochemical and solid-state letters 作者:Dae‐Ho Son; Dae-Hwan Kim; Jung-Hye Kim; Shi‐Joon Sung; Eunhye Jung; et al 出版日期:2010-01-01 |
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