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AlN thin films deposition by laser ablation of Al target in nitrogen reactive atmosphere
氮反应气氛下激光烧蚀Al靶制备AlN薄膜
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期刊:Applied surface science 作者:P. Verardi; M. Dinescu; C. Gerardi; L. Mirenghi; V. Sandu 出版日期:1997-02-01 |
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