Competition between surface modification and abrasive polishing: a method of controlling the surface atomic structure of 4H-SiC (0001)

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标题	Competition between surface modification and abrasive polishing: a method of controlling the surface atomic structure of 4H-SiC (0001) 表面改性与磨料抛光的竞争：控制4H-SiC（0001）表面原子结构的一种方法相关领域抛光化学机械平面化梯田（农业）材料科学磨料泥浆晶体结构表面改性纳米技术结晶学复合材料化学工程化学工程类历史考古
网址	https://www.nature.com/articles/srep08947
DOI	10.1038/srep08947 doi
其它	期刊：Scientific Reports 作者：Hui Deng; Katsuyoshi Endo; Kazuya Yamamura 出版日期：2015-03-10
求助人	Mr.Zhang 在 2023-11-21 16:08:48 发布自四川，悬赏 10 积分
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