标题 |
Effects of structured electrodes on electron power absorption and plasma uniformity in capacitive RF discharges
结构电极对电容射频放电中电子功率吸收和等离子体均匀性的影响
相关领域
沟槽
等离子体
材料科学
原子物理学
电极
电子
容性耦合等离子体
电离
吸收(声学)
薄脆饼
离子
光电子学
化学
物理
感应耦合等离子体
纳米技术
图层(电子)
有机化学
复合材料
物理化学
量子力学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Li Wang; P. Hartmann; Zoltán Donkó; Yuan-Hong Song; Julian Schulze 出版日期:2021-10-26 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|