High-fidelity digital lithography method via adaptive curvature segmentation and region-specific fitting for complex patterns

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标题	High-fidelity digital lithography method via adaptive curvature segmentation and region-specific fitting for complex patterns
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S003039922...
DOI	10.1016/j.optlastec.2025.114433 doi
其它	期刊：Optics & Laser Technology 作者：Shengzhou Huang; Yongkang Shao; Dongjie Wu; Jiani Pan; Siwen He; Chanchan Xu 出版日期：2025-12-05
求助人	满意语风在 2026-02-18 21:24:27 发布自河北，悬赏 10 积分
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