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Revisiting the growth mechanism of atomic layer deposition of Al2O3: A vibrational sum-frequency generation study
原子层沉积Al2O3生长机理的再探讨：振动和频产生研究
相关领域
原子层沉积 位阻效应 和频产生 化学 限制 动力学 分析化学（期刊） 光谱学 沉积（地质） 反应机理 图层（电子） 立体化学 催化作用 非线性光学 有机化学 非线性系统 物理 量子力学 沉积物 机械工程 工程类 生物 古生物学
网址
https://doi.org/10.1116/1.4993597
AI链接 scitation.org tue.nl tue.nl scopus.comdoi.org
DOI
10.1116/1.4993597 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Vincent Vandalon; W. M. M. Kessels
出版日期：2017-07-21
求助人
qianqian 在 2025-12-26 16:52:40 发布自四川，悬赏 10 积分
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