Characterization of cosputtered (TiZrHfY)Nx films

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标题	Characterization of cosputtered (TiZrHfY)Nx films 共溅射(TiZrHfY)Nx薄膜的表征相关领域表征（材料科学）材料科学环境科学化学纳米技术
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.130815
DOI	10.1016/j.surfcoat.2024.130815 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Tzu-Yu Ou; Li-Chun Chang; Yung-I Chen; Chunsheng Yu 出版日期：2024-04-21
求助人	chaohuix 在 2025-06-08 04:56:24 发布，悬赏 10 积分
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