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The effects of argon gas flow rate and furnace pressure on oxygen concentration in Czochralski silicon single crystals grown in a transverse magnetic field
氩气流量和炉膛压力对横向磁场生长直拉硅单晶中氧浓度的影响
相关领域
氧气 体积流量 分析化学(期刊) Crystal(编程语言) 极限氧浓度 材料科学 氩气 化学 热力学 冶金 色谱法 程序设计语言 计算机科学 有机化学 物理
网址
DOI
10.1016/s0022-0248(99)00516-3 doi
求助人
第五明月 在 2025-06-12 18:35:22 发布自江苏,悬赏 10 积分
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