发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Control of SC1 Wet Cleaning Process for Nano-Scale Gate Oxide Integrity
纳米级栅极氧化物完整性的SC1湿法清洗工艺控制
相关领域
氧化物 材料科学 蚀刻（微加工） 光刻胶 硅 栅氧化层 各向同性腐蚀 氧化硅 化学气相沉积 缓冲氧化物腐蚀 化学工程 等效氧化层厚度 等离子体增强化学气相沉积 干法蚀刻 纳米技术 反应离子刻蚀 光电子学 图层（电子） 晶体管 冶金 电气工程 氮化硅 工程类 电压
网址
https://doi.org/10.1143/jjap.42.5002
DOI
10.1143/jjap.42.5002 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Sangwoo Lim
出版日期：2003-08-15
求助人
ee4455 在 2025-06-09 14:27:59 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Formation of three-dimensional GaAs microstructures by combination of wet and metal-assisted chemica...
  2. Fabrication of GaN‐based ridge waveguides with very smooth and vertical sidewalls by combined plasm...
  3. Selective Etching of Silicon Oxide versus Nitride with Low Oxide Etching Rate
  4. Micromachining of {111} plates in [001] oriented silicon
  5. Quantum Chemical Investigation for Chemical Dry Etching of SiO2by Flowing NF3into H2Downflow Plasma
  6. Etching characteristics of NF3 and F3NO at reactive ion etching plasma for silicon oxide and silicon...
  7. GaN-based Ridge Waveguides with Very Smooth and Vertical Sidewalls by ICP Dry Etching and Chemical E...
  8. Application of Wet Chemical Etching in GaN-based Materials
  9. On the Chemical Dry Etching‐Induced Critical Dimension Loss in VLSI Submicron Contact/Via Etching
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 3小时前

    yar yar Lv113 上传了文件

    待审核 lim2003.pdf (237.86 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 12小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    14:28:03 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    14:28:00 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献
    14:28:00 已向机器人发送请求

  • 12小时前

    ee4455 ee4455 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
量子星尘发布了新的文献求助10
6秒前
21秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
29秒前
邓佳鑫Alan的应助被草木采纳，获得10
30秒前
magic完成签到，获得积分10
1分钟前
1分钟前
yscjlxw547完成签到，获得积分20
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
oleskarabach发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
Hello的应助被妩媚的夏烟采纳，获得10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
2分钟前
科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得10
2分钟前
852的应助被科研通管家采纳，获得10
2分钟前
2分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
2分钟前
3分钟前
小马甲的应助被yscjlxw547采纳，获得30
3分钟前
李健的小迷弟的应助被zz1234采纳，获得10
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
zz1234发布了新的文献求助10
3分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
4分钟前
华仔的应助被等待夏旋采纳，获得10
4分钟前
丘比特的应助被Sandy采纳，获得10
4分钟前
4分钟前
等待夏旋发布了新的文献求助10
4分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
4分钟前
邓佳鑫Alan的应助被草木采纳，获得10
4分钟前
4分钟前
Sandy发布了新的文献求助10
4分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
4分钟前
Sandy完成签到，获得积分10
5分钟前
花花521完成签到，获得积分10
5分钟前
赘婿的应助被Su采纳，获得10
5分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
5分钟前
5分钟前
高分求助中
Africanfuturism: African Imaginings of Other Times, Spaces, and Worlds 3000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 2000
Electron microscopy study of magnesium hydride (MgH2) for Hydrogen Storage 1000
Structural Equation Modeling of Multiple Rater Data 700
 Introduction to Comparative Public Administration Administrative Systems and Reforms in Europe, Third Edition 3rd edition 590
全球膝关节骨性关节炎市场研究报告 555
Exhibiting Chinese Art in Asia: Histories, Politics and Practices 540
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3889369
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3431501
关于积分的说明 10774180
捐赠科研通 3156575
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1743167
邀请新用户注册赠送积分活动 841559
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 785977
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通