| 标题 |
 Precise Control Method of Temperature Rising Speed of Wafer During Rapid Thermal Processing With Lamp Heaters |
| 网址 | |
| DOI |
10.1115/ajtec2011-44017
doi
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| 其它 |
期刊：ASME/JSME 2011 8th Thermal Engineering Joint Conference 作者：Shigeki Hirasawa; Tsuyoshi Kawanami 出版日期：2011-01-01 |
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