Effect of O2/Ar flow ratio and heat treatment on the structure and properties of SiO2 film prepared by magnetron sputtering - 科研通

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标题	Effect of O2/Ar flow ratio and heat treatment on the structure and properties of SiO2 film prepared by magnetron sputtering
网址	https://doi.org/10.1016/j.physb.2021.413537
DOI	10.1016/j.physb.2021.413537 doi
其它	期刊：Physica B: Condensed Matter 作者：Luoshu Wang; Changjiang Zhao; Leran Zhao; Xiaowei Fan; Qingguo Wang; Juncheng Liu 出版日期：2022
求助人	老实天真在 2026-03-20 14:09:19 发布自湖北，悬赏 10 积分
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