Interpretable hybrid neural network for modeling and optimization of axial resistivity uniformity in Czochralski-grown silicon

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标题	Interpretable hybrid neural network for modeling and optimization of axial resistivity uniformity in Czochralski-grown silicon
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.6736309
DOI	10.2139/ssrn.6736309 doi
其它	期刊：作者：Jun Xiao; Jianping Wang; Qitao Zhang; Tai Li; Peilin HE; et al 出版日期：2026-05-09
求助人	没咋了在 2026-05-13 22:28:58 发布自云南，悬赏 10 积分
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