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[求助补充材料]
 Effects of Annealing Temperature and Pressure on the Nitride-based Precursor Conversion Behaviors 退火温度和压力对氮化物基前驱体转化行为的影响
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Hsin-Hao Yeh 出版日期：2020-03-20 |
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