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标题
Commercialization of microcavity plasma devices and arrays: Systems for VUV photolithography and nanopatterning, disinfection of drinking water and air, and biofilm deactivation for medical therapeutics
微腔等离子体器件和阵列的商业化：真空紫外光刻和纳米图案化系统，饮用水和空气的消毒，以及用于医疗的生物膜失活
相关领域
微等离子体 材料科学 光刻 等离子体 紫外线 纳米技术 光电子学 原子层沉积 图层（电子） 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1002/ppap.202200075
DOI
10.1002/ppap.202200075 doi
其它 期刊：Plasma Processes and Polymers
作者：Sun-Uk Kim; Andrey A. Mironov; Jin Whan Cho; Dane J. Sievers; C. M. Herring; et al
出版日期：2022-08-17
求助人
东方既白 在 2023-06-30 15:00:06 发布自江苏，悬赏 10 积分
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