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Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization
相关领域
化学气相沉积
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
化学工程
硼
薄膜
无定形固体
分析化学(期刊)
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期刊:Applied sciences 作者:Svetlana V. Belaya; Eugene A. Maksimovsky; Vladimir R. Shayapov; Aleksandra A. Shapovalova; Alexey N. Kolodin; et al 出版日期:2023-04-14 |
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