标题 |
Fundamental study towards a better understanding of low pressure radio-frequency plasmas for industrial applications
为更好地理解工业应用中的低压射频等离子体而进行的基础研究
相关领域
等离子体
无线电频率
材料科学
等离子体处理
感应耦合等离子体
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期刊:Chinese Physics B 作者:You-Nian Wang; Quan-Zhi Zhang; Kai Zhao; Yuru Zhang; Fei Gao; et al 出版日期:2022-06-02 |
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