发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Computational nanometrology of line-edge roughness: noise effects, cross-line correlations and the role of etch transfer
相关领域
噪音（视频） 平版印刷术 计量学 光学 极紫外光刻 直线（几何图形） 纳米计量学 缩放比例 GSM演进的增强数据速率 抵抗 材料科学 物理 计算机科学 纳米技术 数学 电信 几何学 图像（数学） 图层（电子） 人工智能
网址
https://doi.org/10.1117/12.2306282
DOI
10.1117/12.2306282 doi
其它 期刊：
作者：George Papavieros; Gian F. Lorusso; Vito Rutigliani; Frieda Van Roey; Εvangelos Gogolides; et al
出版日期：2018-03-20
求助人
tib 在 2025-10-27 11:30:07 发布自海南，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. EUV resists towards 11nm half-pitch
  2. Dimensional nanometrology at PTB
  3. What is prevalent CD-SEM's role in EUV era?
  4. Traceable nanoscale length metrology using a metrological Scanning Probe Microscope
  5. Reference metrology for nanotechnology: significance, challenges and solutions
  6. Line scale comparison Nano3
  7. High-accuracy, high-speed, and smart metrology in the EUV era
  8. Development and Metrology of Extreme Ultraviolet and soft X-ray Multilayer Mirrors
  9. Metrology AFM and Nanometrology
  10. Scales of Metrology
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 7小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    11:30:11 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    11:30:07 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    11:30:07 已向机器人发送请求

  • 7小时前

    tib tib Lv3 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
刚刚
刚刚
可爱的函函的应助被呼呼呼采纳，获得10
2秒前
潘果果完成签到，获得积分10
3秒前
希望天下0贩的0的应助被Wlin采纳，获得10
3秒前
3秒前
乐乐的应助被急于学习采纳，获得30
3秒前
4秒前
4秒前
Dellamoffy完成签到，获得积分10
4秒前
核桃发布了新的文献求助10
6秒前
慧敏发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
piupiu完成签到，获得积分10
7秒前
7秒前
7秒前
晓晓发布了新的文献求助10
8秒前
奚斌发布了新的文献求助10
8秒前
英姑的应助被嗷嗷采纳，获得10
8秒前
万能图书馆的应助被鹏程苏采纳，获得10
10秒前
17完成签到 ，获得积分10
10秒前
11秒前
潇洒一曲完成签到，获得积分10
11秒前
唐ZY123发布了新的文献求助30
11秒前
傻妞完成签到，获得积分10
12秒前
13秒前
浮游的应助被自觉的诺言采纳，获得10
14秒前
14秒前
呼呼呼发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
19秒前
量子星尘发布了新的文献求助150
19秒前
奋斗蜗牛完成签到，获得积分10
20秒前
happyxuexi完成签到，获得积分10
21秒前
21秒前
郭娅楠完成签到 ，获得积分10
21秒前
22秒前
22秒前
23秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500
Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition 1000
青少年心理适应性量表(APAS)使用手册 700
Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700
Socialization In The Context Of The Family: Parent-Child Interaction 600
DESIGN GUIDE FOR SHIPBOARD AIRBORNE NOISE CONTROL 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4991103
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4239754
关于积分的说明 13208013
捐赠科研通 4034494
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2207347
邀请新用户注册赠送积分活动 1218369
关于科研通互助平台的介绍 1136729
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通