Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor

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标题	Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor 工业反应器中TMA和H2O氧化铝ALD的计算流体力学模拟相关领域基质（水族馆）沉积（地质）原子层沉积流量（数学）计算流体力学体积流量流体力学铝材料科学图层（电子）化学工程化学纳米技术工程类机械物理复合材料地质学古生物学海洋学生物沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.cherd.2018.02.031
DOI	10.1016/j.cherd.2018.02.031 doi
其它	期刊：Chemical Engineering Research & Design 作者：Georgios P. Gakis; Hugues Vergnes; E. Scheid; Constantin Vahlas; Brigitte Caussat; et al 出版日期：2018-04-01
求助人	落寞松鼠在 2024-08-28 16:51:16 发布自山东，悬赏 10 积分
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