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Polished TFT's: surface roughness reduction and its correlation to device performance improvement
抛光TFT:表面粗糙度的降低及其与器件性能改善的相关性
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期刊:I.E.E.E. transactions on electron devices 作者:A.B.Y. Chan; C.T. Nguyen; P.K. Ko; Syin Chan; Stephen Wong 出版日期:1997-03-01 |
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