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Irradiation-Induced Degradation of Surface Acoustic Wave Devices Fabricated on Bulk AlN
体AlN表面声波器件的辐照退化
相关领域
材料科学
辐照
制作
声表面波
薄脆饼
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期刊:IEEE transactions on device and materials reliability 作者:Ben La Riviere; Pradeep Ramuhalli; F. Kyle Reed; P. C. Joshi; M.N. Ericson; et al 出版日期:2022-12-01 |
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