Design and regularity research of MOCVD heating plate based on experiments and simulations

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标题	Design and regularity research of MOCVD heating plate based on experiments and simulations
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2020.109174
DOI	10.1016/j.vacuum.2020.109174 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Jian Li; Tiecheng Luo; Hantao Wen; Jiajia Deng; Mingyang Wu; et al 出版日期：2020-04-01
求助人	迷路傲柔在 2026-09-14 14:49:09 发布自重庆，悬赏 10 积分
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