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标题
Plasma Anneal As a Stress Control Method in Low Temperature Al2O3 ALD Coatings
网址
http://dx.doi.org/10.1149/ma2023-02291509mtgabs
DOI
10.1149/ma2023-02291509mtgabs doi
其它 期刊：ECS Meeting Abstracts
作者：Jacques Kools; Alter Zakhster; Pierre Caries; John Hill
出版日期：2023-12-22
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干之桃 在 2026-09-11 15:03:31 发布自广东，悬赏 10 积分
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