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 CNT EUV pellicle: moving towards a full-size solution 碳纳米管EUV薄膜：迈向全尺寸解决方案
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期刊： 作者：Marina Y. Timmermans; Ivan Pollentier; Jae Uk Lee; Johan Meersschaut; Olivier Richard; et al 出版日期：2017-10-16 |
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