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标题
Scanning-helium-ion-beam lithography with hydrogen silsesquioxane resist
网址
https://doi.org/10.1116/1.3250204
DOI
10.1116/1.3250204 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：D. Winston; B. M. Cord; B. Ming; D. C. Bell; W. F. DiNatale; et al
出版日期：2009
求助人
Jack 在 2026-01-30 22:04:02 发布自天津，悬赏 10 积分
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  • 8个月前

    Jack Jack Lv4 求助人 发起了本次求助

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