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标题
Low temperature coefficient of frequency AlN Lamb wave resonator using groove structure between interdigital transducers
采用叉指换能器间沟槽结构的低温度系数频率AlN兰姆波谐振器
相关领域
材料科学 谐振器 沟槽（工程） 传感器 温度系数 声学 兰姆波 光电子学 宽禁带半导体 复合材料 光学 表面波 冶金 物理
网址
https://doi.org/10.1063/5.0213338
DOI
10.1063/5.0213338 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：Haiyang Li; Jie Zhou; Qinwen Xu; Zesheng Liu; Yuqi Ren; et al
出版日期：2024-07-10
求助人
漂亮的山菡 在 2025-12-06 15:24:20 发布自贵州，悬赏 10 积分
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