Design and Characterization of an Aluminum Nitride-Based MEMS Hydrophone With Biologically Honeycomb Architecture

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标题	Design and Characterization of an Aluminum Nitride-Based MEMS Hydrophone With Biologically Honeycomb Architecture 氮化铝基生物蜂窝结构MEMS水听器的设计与表征相关领域水听器微电子机械系统材料科学声学压电光电子学灵敏度（控制系统）电子工程工程类复合材料物理
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2021.3093020
DOI	10.1109/ted.2021.3093020 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Licheng Jia; Lei Shi; Chongbin Liu; Yun-Xin Yao; Chengliang Sun; et al 出版日期：2021-09-01
求助人	DezhaoWang 在 2023-09-01 16:41:18 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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