Atomic layer deposition of TiO2 from tetrakis-dimethyl-amido titanium or Ti isopropoxide precursors and H2O

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标题	Atomic layer deposition of TiO2 from tetrakis-dimethyl-amido titanium or Ti isopropoxide precursors and H2O
网址	https://doi.org/10.1063/1.2798384
DOI	10.1063/1.2798384 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Qi Xie; Yu-Long Jiang; Christophe Detavernier; Davy Deduytsche; Roland L. Van Meirhaeghe; et al 出版日期：2007
求助人	感动映秋在 2026-03-06 23:59:23 发布自安徽，悬赏 10 积分
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