Properties of SiO N thin film deposited by low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition using TEOS–NH3–O2–N2 gas mixtures

已完结

文献求助详情

标题	Properties of SiO N thin film deposited by low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition using TEOS–NH3–O2–N2 gas mixtures
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2005.01.119 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：J.H. Lee; C.H. Jeong; J.T. Lim; N.G. Jo; S.J. Kyung; G.Y. Yeom 出版日期：2005-04-15
求助人	ccccc 在 2026-03-22 19:30:04 发布自陕西，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 傲娇的擎完成签到，获得积分10

1秒前; wzymjfan完成签到，获得积分10

1秒前; 汉堡包上传了应助文件

1秒前; 123完成签到，获得积分20

2秒前; 癫狂梦醒完成签到，获得积分10

2秒前; 科目三上传了应助文件

2秒前; 杨德帅发布了新的文献求助10

2秒前; 一笑而过完成签到，获得积分10

4秒前; Jasper上传了应助文件

4秒前; 天行健发布了新的文献求助10

4秒前; mst驳回了Rainyin的应助

4秒前; bkagyin上传了应助文件

4秒前; 生动的踏歌完成签到，获得积分10

4秒前; 852的应助被刘玲采纳，获得10

4秒前; 深情安青上传了应助文件

4秒前; 吨吨吨吨吨发布了新的文献求助10

5秒前; 隐形曼青上传了应助文件

5秒前; Jasper的应助被Atropine采纳，获得10

5秒前; 英姑上传了应助文件

5秒前; 111完成签到，获得积分10

6秒前; KKK发布了新的文献求助10

7秒前; 李爱国的应助被小趴菜采纳，获得10

7秒前; 谨慎的炳发布了新的文献求助10

7秒前; 搜集达人上传了应助文件

7秒前; 流露完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

8秒前; ronaldo发布了新的文献求助10

8秒前; 鹤轸完成签到，获得积分10

8秒前; 拔刀把qaq发布了新的文献求助10

8秒前; 充电宝的应助被Yantuobio采纳，获得10

8秒前; 嘻嘻嘻完成签到，获得积分10

9秒前; yxf完成签到，获得积分10

9秒前; 做个梦给你完成签到，获得积分10

9秒前; 喜悦半青发布了新的文献求助10

9秒前; Shang完成签到，获得积分10

9秒前; Leucalypt发布了新的文献求助10

9秒前; 大个的应助被英勇新烟采纳，获得10

9秒前; 莫妮卡卡完成签到，获得积分10

9秒前; 淡然的尔云上传了应助文件

9秒前; 田様的应助被YYY采纳，获得10

10秒前