Imaging performance improvement of coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope with high-harmonic-generation extreme-ultraviolet source

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标题	Imaging performance improvement of coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope with high-harmonic-generation extreme-ultraviolet source
网址	http://stacks.iop.org/1347-4065/56/i=6S1/a=06GB01/pdf
DOI	10.7567/jjap.56.06gb01 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Daiki Mamezaki; Tetsuo Harada; Yutaka Nagata; Takeo Watanabe 出版日期：2017-05-18
求助人	彩色的怀柔在 2026-03-12 00:30:22 发布自北京，悬赏 10 积分
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