Sputtering yields of TiC and MAX phase Ti2AlC using Ne, Ar, Xe ions

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标题	Sputtering yields of TiC and MAX phase Ti2AlC using Ne, Ar, Xe ions Ne、Ar、Xe离子溅射TiC和最大相Ti2AlC的产率相关领域溅射离子相（物质）材料科学原子物理学物理纳米技术薄膜量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.nimb.2024.165433
DOI	10.1016/j.nimb.2024.165433 doi
其它	期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：Yu.V. Kovtun; А.С. Куприн; Viktoriya Podhurska 出版日期：2024-06-12
求助人	相与千日在 2025-06-10 22:37:50 发布，悬赏 10 积分
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