Effect of aluminum content on plasma resistance and contamination particle generation in yttrium aluminum oxide coatings

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标题	Effect of aluminum content on plasma resistance and contamination particle generation in yttrium aluminum oxide coatings 铝含量对钇铝氧化物涂层等离子体电阻和污染颗粒生成的影响相关领域钇材料科学涂层铝氧化物结晶氟图层（电子）大气压等离子体蚀刻（微加工）氧化铝冶金转化膜化学工程复合材料等离子体工程类物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107981
DOI	10.1016/j.mssp.2023.107981 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Jongho So; Eunmi Choi; MinJoong Kim; Dongjin Lee; Jungpil Seo; et al 出版日期：2023-11-19
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