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Gate leakage evaluation of GAA transistors using SEMs |
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10.1117/12.3091862
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期刊:Metrology, Inspection, and Process Control XL 作者:Yasuhiro Shirasaki; Yajian Hu; Kazufumi Yachi; Minami Shoji; Hiroaki Arimura; et al 出版日期:2026-04-08 |
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(2025-6-4)