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 The Impact of Electric Field Strength on the Accuracy of Boron Dopant Quantification in Silicon using Atom Probe Tomography 电场强度对原子探针层析成像硅中硼掺杂剂定量精度的影响
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期刊：Ultramicroscopy 作者：Bavley Guerguis; Ramya Cuduvally; R. J. H. Morris; Gabriel Arcuri; Brian Langelier; et al 出版日期：2024-08-22 |
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