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标题
Direct Laser Writing Dry Lithography of High‐Resolution Micro‐/Nanostructures in AgSb4Te Thin Film for Tunable Perfect Absorber
用于可调谐完美吸收体的AgSb4Te薄膜中高分辨率微/纳米结构的激光直写干式光刻
相关领域
材料科学 平版印刷术 制作 干法蚀刻 薄膜 激光器 光电子学 激光线宽 光刻 蚀刻（微加工） 纳米技术 光学 医学 替代医学 物理 病理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1002/pssr.202300430
DOI
10.1002/pssr.202300430 doi
其它 期刊：Physica Status Solidi (rrl)
作者：Lei Chen; Jinhan Yao; Tao Wei; Jing Hu; Miao Cheng; et al
出版日期：2023-12-16
求助人
993494543 在 2025-09-13 21:15:17 发布自山东，悬赏 10 积分
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