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作者
Francis N. Goodall,
R.A. Lawes
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：1987-12-01
卷期号：6 (1-4): 61-67
被引量：2
标识
DOI：10.1016/0167-9317(87)90017-7
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