Integrated sub-micron vacuum gaps in semiconductor devices

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标题	Integrated sub-micron vacuum gaps in semiconductor devices 半导体器件中的集成亚微米真空间隙相关领域半导体材料科学光电子学电容器半导体器件量子隧道硅电介质场电子发射电场本征半导体击穿电压介电强度电压电子纳米技术电气工程物理量子力学工程类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1063/5.0097043 AI链接 scitation.orgdoi.org
DOI	10.1063/5.0097043 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Peter Oles; A. Breymesser; Oliver Blank; P. Hadley 出版日期：2022-08-08
求助人	嵇翩跹在 2025-08-29 09:12:07 发布，悬赏 10 积分
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