Study of the Critical Dimension Shrinkage Caused by After Development Inspection

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标题	Study of the Critical Dimension Shrinkage Caused by After Development Inspection 研制后检验引起临界尺寸收缩的研究相关领域收缩率维数（图论）材料科学计算机科学复合材料数学组合数学
网址	https://doi.org/10.3938/jkps.59.461
DOI	10.3938/jkps.59.461 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Hyungseop Kim; Hee-Won Sunwoo; Byoungho Lee; J. B. Park; Young‐Hee Kim; et al 出版日期：2011-08-05
求助人	hewuan 在 2025-10-27 07:47:32 发布自四川，悬赏 10 积分
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