Effect of deposition conditions on the morphological, optical, and corrosion behavior of electron beam evaporated high-performance HfO2 thin films

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标题	Effect of deposition conditions on the morphological, optical, and corrosion behavior of electron beam evaporated high-performance HfO2 thin films 相关领域沉积（地质）腐蚀电子束物理气相沉积薄膜材料科学电子阴极射线扫描电子显微镜梁（结构）冶金化学工程光学复合材料纳米技术物理地质学古生物学工程类量子力学沉积物
网址	https://doi.org/10.1007/s00339-025-08755-w
DOI	10.1007/s00339-025-08755-w doi
其它	期刊：Applied Physics A 作者：Shashi Kant; Neelam Kumari; Mukesh Kumar 出版日期：2025-07-14
求助人	anyon 在 2025-10-11 12:47:27 发布自山东，悬赏 10 积分
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