X-ray metrology for advanced semiconductor manufacturing of next-generation logic devices

已完结

文献求助详情

标题	X-ray metrology for advanced semiconductor manufacturing of next-generation logic devices
网址	https://doi.org/10.1117/1.JMM.25.1.010901
DOI	10.1117/1.JMM.25.1.010901 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Gaurav Pandey; Wei-En Fu; Chun-Yu Liu; Chao-Ching Ho; Liang-Chia Chen 出版日期：2026
求助人	安第斯鼠属在 2026-03-02 10:42:54 发布自吉林，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 机灵的幼菱发布了新的文献求助10

3秒前; 大胆的大楚完成签到，获得积分10

9秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

31秒前; 墨绾菩提上传了应助文件

34秒前; 无心的月光完成签到，获得积分10

59秒前; OK的应助被科研通管家采纳，获得20

1分钟前; 墨绾菩提上传了应助文件

1分钟前; 老石完成签到，获得积分10

1分钟前; 万能图书馆的应助被白华苍松采纳，获得10

1分钟前; 默默的以柳完成签到，获得积分10

1分钟前; 笨笨的怜雪完成签到，获得积分10

1分钟前; Copyright上传了应助文件

1分钟前; 闪闪的水彤完成签到，获得积分10

2分钟前; 墨绾菩提上传了应助文件

2分钟前; 陶醉之柔完成签到，获得积分10

3分钟前; JamesPei的应助被白华苍松采纳，获得10

3分钟前; 阿里完成签到，获得积分10

3分钟前; 墨绾菩提上传了应助文件

3分钟前; Sunny完成签到，获得积分10

3分钟前; Copyright的应助被Sunny采纳，获得10

3分钟前; Hello的应助被考拉采纳，获得10

3分钟前; 单薄的钥匙完成签到，获得积分10

3分钟前; JamesPei上传了应助文件

4分钟前; 白华苍松发布了新的文献求助10

4分钟前; 深情的朝雪完成签到，获得积分10

4分钟前; 墨绾菩提上传了应助文件

5分钟前; 希望天下0贩的0的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 王一行发布了新的文献求助10

5分钟前; 羞涩的烨华完成签到，获得积分10

5分钟前; Copyright上传了应助文件

5分钟前; 看不了一点文献的应助被王一行采纳，获得20

5分钟前; 墨绾菩提上传了应助文件

5分钟前; 582843216发布了新的文献求助10

6分钟前; 582843216发布了新的文献求助10

7分钟前; 桐桐的应助被582843216采纳，获得10

7分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

7分钟前; 墨绾菩提上传了应助文件

7分钟前; 紫熊完成签到，获得积分10

7分钟前; 582843216发布了新的文献求助10

7分钟前; 桐桐上传了应助文件

7分钟前