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标题
Area-Selective Atomic Layer Deposition Using Self-Assembled Monolayer and Scanning Probe Lithography
使用自组装单层和扫描探针光刻的区域选择性原子层沉积
相关领域
原子层沉积 平版印刷术 纳米技术 材料科学 十八烷基三氯氢硅 单层 硅 纳米球光刻 图层（电子） 基质（水族馆） 蚀刻（微加工） 纳米结构 光电子学 制作 病理 地质学 海洋学 替代医学 医学
网址
https://doi.org/10.1149/1.3158593
DOI
10.1149/1.3158593 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Won‐Young Lee; Fritz B. Prinz
出版日期：2009-01-01
求助人
lll 在 2026-01-03 15:56:14 发布自上海，悬赏 10 积分
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