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 Area-Selective Atomic Layer Deposition Using Self-Assembled Monolayer and Scanning Probe Lithography 使用自组装单层和扫描探针光刻的区域选择性原子层沉积
相关领域
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材料科学
十八烷基三氯氢硅
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Won‐Young Lee; Fritz B. Prinz 出版日期：2009-01-01 |
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