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A methodology for the preparation of nanoporous polyimide films with low dielectric constants
低介电常数纳米多孔聚酰亚胺薄膜的制备方法
相关领域
聚酰亚胺
纳米孔
电介质
氢氟酸
材料科学
多孔性
复合材料
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期刊:Thin solid films 作者:Lizhong Jiang; Liu Jiugui; Dezhen Wu; Hangquan Li; Riguang Jin 出版日期:2006-07-01 |
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