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Thermal stability of ultrathin amorphous carbon films synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition and filtered cathodic vacuum arc
等离子体增强化学气相沉积和过滤阴极真空电弧制备超薄非晶碳薄膜的热稳定性
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
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期刊:The Philosophical Magazine A Journal of Theoretical Experimental and Applied Physics 作者:Jun Xie; K. Komvopoulos 出版日期:2017-02-22 |
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