Effects of Plasma Reactants on Atomic Layer Deposition of Lithium Phosphate and Lithium Phosphorus Oxynitride Electrolyte Films

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标题	Effects of Plasma Reactants on Atomic Layer Deposition of Lithium Phosphate and Lithium Phosphorus Oxynitride Electrolyte Films
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.4c00960
DOI	10.1021/acs.chemmater.4c00960 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Tohru Tsuruoka; Samapika Mallik; Takuji Tsujita; Yuu Inatomi; Kazuya Terabe 出版日期：2024-06-07
求助人	彭于晏在 2026-10-14 18:54:49 发布自福建，悬赏 10 积分
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