Homoepitaxial growth of AlN on a 2-in.-diameter AlN single crystal substrate by hydride vapor phase epitaxy

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标题	Homoepitaxial growth of AlN on a 2-in.-diameter AlN single crystal substrate by hydride vapor phase epitaxy
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002202482...
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2020.125644 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Toru Nagashima; Reiko Ishikawa; Tatsuya Hitomi; Reo Yamamoto; J. Kotani; et al 出版日期：2020-06-01
求助人	小HIN 在 2026-09-29 20:32:09 发布自上海，悬赏 10 积分
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